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【2h】

A High precision method of the microscope auto-focusing for the quality inspection

机译：高精度的显微镜自动聚焦质量检验

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Ning Feng Zeng; Keiji Taniguchi; Sadakazu Watanabe; Yutaka Nakano; Hiroshi Yamamoto; Toshihiro Konaka;
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年度 2000
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