机译:在连续抛光过程中不同旋转速率下的工艺振动对不均匀材料去除的影响
机译:一次LED蓝宝石衬底研磨和抛光中的2体材料去除案例
机译:一种新型的功能分级研磨抛光方法,用于改善材料去除的均匀性
机译:优质LED蓝宝石基板研磨和抛光的2体材料去除案例
机译:化学机械平面化:摩擦系数,晶片取向和材料去除速率的同步,原位测量。
机译:超声化学机械抛光与超声研磨相结合的单晶碳化硅晶片材料去除及表面生成研究
机译:连续研磨机中的材料去除,移除率和普雷斯顿系数的计算
机译:连续研磨/抛光机中材料去除,去除率和preston系数的计算。