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【2h】

Low-temperature poly-Si TFTs of metal source and drain using blue-laser-diode annealing (BLDA)

机译：使用蓝色激光二极管退火（BLDA）金属源和沥水的低温多Si TFT（BLDA）

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作者
Kouya Sugihara; Kiyoharu Shimoda; Tatsuya Okada; Takashi Noguchi;
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年度 2017
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