机译:用于3-D光子电路和器件的单片集成多层氮化硅硅波导平台
机译:非晶多层纳米结构[(CO45FE45ZR10)/ A-Si:H](41)和[(CO 4 5 FE45ZR10)(35)(Al 2 O 3)/ A-Si:H](41)中的相组合物
机译:非晶多层纳米结构[(CO45FE45ZR10)/ A-Si:H](41)和[(CO 4 5 FE45ZR10)(35)(Al 2 O 3)/ A-Si:H](41)中的相组合物
机译:用于多层硅光子平台的HWCVD a-Si:H层间倾斜波导耦合器
机译:基于波导横杆的高度可伸缩的硅光子开关,具有可移动波导耦合器
机译:具有多层底部反射器的高效氮化硅波导光栅耦合器
机译:用于3-D光子电路和装置的单片集成多层氮化硅对硅波导平台