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【2h】

Single-Step Fabrication of Multispectral Filter Arrays Using Grayscale Lithography and Metal-Insulator-Metal Geometry

机译：使用灰度光刻和金属绝缘体 - 金属几何的多光谱滤波器阵列的单步制造

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Calum Williams; George S.D. Gordon; Timothy D. Wilkinson; Sarah E. Bohndiek;
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年度 2018
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