机译:金属前体脉冲在等离子体增强原子层沉积中的金属前体脉冲的反应机理及表面面积的作用
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机译:Co(EtCp)
机译:Ruhenium环戊二烯基前体在Ru原子层沉积中金属前体脉冲的反应
机译:原子层沉积TiO_2使用Ti(Och_3)_4和H_2O作为前体的初始表面反应机制
机译:了解金属硫属元素化物原子层沉积过程中的反应机理并控制反应性表面物种。
机译:Co(EtCp)2作为金属前体的钴膜的等离子体增强原子层沉积
机译:使用CO(ETCP)2作为金属前体的等离子体增强的钴膜的原子层沉积
机译:原子层沉积氧化物表面贵金属的成核与生长