机译:具有低电阻率的镍纳米管的等离子体增强的原子层沉积,用于3D闪铜的低电阻率和相干磁化动力学
机译:具有低电阻率和相干磁化动力学的镍纳米管的等离子体增强原子层沉积3D浓缩型磁化动力学
机译:等离子体增强原子层沉积法低温生长ZnO薄膜的双极电阻转换特性
机译:等离子体增强原子层沉积法低温生长ZnO薄膜的双极电阻转换特性
机译:Al
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:调音氧化物和氮化物的材料特性等离子体增强原子层沉积过程中的衬底偏置效应在平面和3D基板地形上
机译:低电阻率和超薄锰氮化物膜的等离子体增强的原子层沉积具有优异的铜扩散性