Slim Water Injection Nozzle for Silicon Wafer Wet Cleaning Bath

机译：用于硅晶圆湿清洗浴的纤细的水注入喷嘴

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Shogo Okuyama; Kento Miyazaki; Nobutaka Ono; Hitoshi Habuka; Akihiro Goto;
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年度 2016
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