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【2h】

Charge Retention Improvement of Nonvolatile Radiation Sensor Using Metalndash;Oxidendash;Nitridendash;Oxidendash;Silicon with Si-Rich Nitride and Oxy-Nitride as Stack Charge-Trapping Layer

机译：使用具有富含Si氮化物和氧 - 氮化物的金属氧化物 - 氮化物氧化物 - 氧化物和氧 - 氮化物作为堆叠电荷捕获层的电荷改善非挥发性辐射传感器

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