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【2h】

Demonstration of Sputtering Atomic Layer Augmented Deposition: Aluminum Oxide–Copper Dielectric–Metal Nanocomposite Thin Films

机译：溅射原子层增强沉积的示范：氧化铝 - 铜介质 - 金属纳米复合薄膜

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Brian Giraldo; David M. Fryauf; Brandon Cheney; Jacob H. Sands; Nobuhiko P. Kobayashi;
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年度 2020
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