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【2h】

Impact of metal gate electrodes on electrical properties of Y2O3/Si0.78Ge0.22 gate stacks

机译：金属栅电极对Y2O3 / Si0.78Ge0.22栅极堆叠电性能的影响

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T.-E. Lee; K. Kato; M. Ke; K. Toprasertpong; M. Takenaka; S. Takagi;
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年度 2019
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