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机译:超高精度光学测试:创建衍射限量的短波长光学系统
Kenneth A. Goldberg; Patrick P. Naulleau; Senajith B. Rekawa; Paul E. Denham; J. A. Liddle; Eric M. Gullikson; Keith H. Jackson; Erik H. Anderson; John S. Taylor; Gary E. Sommargren; Henry N. Chapman; Donald W. Phillion; Michael Johnson; Anton Barty; Regina Soufli; Eberhard A. Spiller; Christopher C. Walton; Sasa Bajt;
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