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Piezoresistive silicon nanowire resonators as embedded building blocks in thick SOI

机译：压阻硅纳米线谐振器作为厚厚的SOI嵌入式积木

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Mohammad Nasr Esfahani; Yasin Kilinc; M Çagatay Karakan; Ezgi Orhan; M Selim Hanay; Yusuf Leblebici; B Erdem Alaca;
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年度 2018
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