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【2h】

A Micromachined Torsional Mirror for Track Following in Magneto-Optical Disk Drives

机译：用于在磁光磁盘驱动器中跟踪的微机型扭转镜

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J. Drake; H. Jerman;
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年度 2000
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3. Optical scanners realized by surface-micromachined vertical torsion mirror [J] . Su G.-D.J., Shi-Sheng Lee IEEE Photonics Technology Letters . 1999,第5期

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