机译:使用氩气电感耦合等离子体对光子学应用的钙钛矿蚀刻分析
机译:氩等离子体感应耦合等离子体反应离子刻蚀研究在光滑侧壁薄膜铌酸锂波导中的应用
机译:InP中高纵横比纳米级沟槽的基于HBr的电感耦合等离子体蚀刻:光子应用的考虑因素
机译:用于氩气/氧气混合物的感应耦合等离子体源的建模
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:使用氩气电感耦合等离子体对光子应用的钙化氧化物蚀刻分析