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Low-temperature formation of platinum silicides on polycrystalline silicon

机译：多晶硅硅胶硅化物的低温形成

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Kirill V. Chizh; Vladimir P. Dubkov; Vyacheslav M. Senkov; Igor V. Pirshin; Larisa V. Arapkina; Sergey A. Mironov; Andrey S. Orekhov; Vladimir A. Yuryev;
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年度 2020
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