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【2h】

Demonstration of color display metasurfaces via immersion lithography on a 12-inch silicon wafer

机译：通过浸入式光刻在12英寸硅晶片上显示彩色显示元件的示范

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Ting Hu; Chih-Kuo Tseng; Yuan Hsing Fu; Zhengji Xu; Yuan Dong; Shijie Wang; Keng Heng Lai; Vladimir Bliznetsov; Shiyang Zhu; Qunying Lin; Yuandong Gu;
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年度 2018
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8. Health Hazard Evaluation Report: HETA-2008-0045-3145, November 2011. Unknown Gases Generated from a Silicon Wafer Grinding Filtration Process - Colorado [R] . Durgam, S., Streicher, R. 2011

机译：健康危害评估报告：HETa-2008-0045-3145，2011年11月。硅晶片研磨过滤过程产生的未知气体 - 科罗拉多州

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