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【2h】

HIGH FLUX THERMAL MANAGEMENT WITH CMOS COMPATIBLE MICROSTRUCTURED SURFACES

机译：具有CMOS兼容微结构表面的高通量热管理

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作者
K.-H. Chu; R. Enright; E.N. Wang;
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年度 2012
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机译：基于二氧化钒的热驱动相变的CMOS兼容双偏振四级光调制设计
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3. Design of low-temperature CMOS-process compatible membrane fabricated with sacrificial aluminum layer for thermally isolated applications [J] . Chang KM, Lin RJ, Deng IC Sensors and Actuators, A. Physical . 2007,第2期

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