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【2h】

Interaction of Chalcogenide As4Se96 Films with Electron Beam When Used as Electronic Resists

机译：用作电子束时用电子束与电子束的硫属化物AS4Se96膜的相互作用

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B. V. Bilanych; O. Shylenko; V. M. Latyshev; A. Feher; V. S. Bilanych; V. M. Rizak; V. Komanicky;
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年度 2020
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