机译:光谱极化技术作为介电膜椭圆仪的补充工具
机译:在真空-紫外光谱范围内用椭圆偏振光谱法测定的六方AlN薄膜的介电功能
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机译:光谱椭圆形测量作为低k介电膜的相对孔隙度测量的潜在在线光学计量工具
机译:通过超临界二氧化碳处理的纳米微孔低介电常数薄膜的光谱椭圆偏振分析,适用于下一代微电子设备。
机译:具有高表面粗糙度的薄膜:使用椭圆偏振光谱仪进行厚度和介电函数分析
机译:光谱偏振仪作为介电膜椭圆形测量的互补工具
机译:椭圆光度法,内反射光谱法和膜片分析法研究薄膜和基材的研究