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【2h】

An Electrostatic Microactuator for Positioning a Hard-Disk Drive Magnetic Head

机译：用于定位硬盘驱动器磁头的静电微致动器

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作者
Tomonori Yoshino; Hiroshi Toshiyoshi; Makoto Mita; Dai Kobayashi; Hiroyuki Fujita;
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作者单位

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年度 2004
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