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【2h】

Numerical investigation of ion-energy-distribution functions in single and dual frequency capacitively coupled plasma reactors

机译：单频电容耦合等离子体反应器中离子能量分布函数的数值研究

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V. Georgieva; A. Bogaerts; R. Gijbels;
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年度 2004
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正文语种 eng
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