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【2h】

Hydrogen-plasma-induced Rapid, Low-Temperature Crystallization of μm-thick a-Si:H Films

机译：氢等离子体诱导的μm厚的A-Si：H薄膜的快速，低温结晶

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H. P. Zhou; M. Xu; S. Xu; L. L. Liu; C. X. Liu; L. C. Kwek; L. X. Xu;
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年度 2016
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