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Soft‐Chemistry‐Assisted On‐Chip Integration of Nanostructured α‐Quartz Microelectromechanical System

机译：纳米结构α - 石英微机电系统的软化化学辅助芯片整合

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Claire Jolly; Andres Gomez; David Sánchez‐Fuentes; Dilek Cakiroglu; Raïssa Rathar; Nicolas Maurin; Ricardo Garcia‐Bermejo; Benoit Charlot; Martí Gich; Michael Bahriz; Laura Picas; Adrian Carretero‐Genevrier;
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年度 2021
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