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【2h】

Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: vibrational kinetics and negative ions control

机译：电容耦合氢等离子体由定制电压波形维持：振动动力学和负离子控制

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P Diomede; B Bruneau; S Longo; E Johnson; J-P Booth;
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年度 2017
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1. Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: vibrational kinetics and negative ions control [J] . P Diomede, B Bruneau, S Longo, Plasma Sources Science & Technology . 2017,第7期

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2. Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: excitation dynamics and ion flux asymmetry [J] . Bruneau B., Diomede P., Economou D. J., Plasma Sources Science & Technology . 2016,第4期

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3. Radio-frequency capacitively coupled plasmas in hydrogen excited by tailored voltage waveforms: comparison of simulations with experiments [J] . Diomede P., Economou D. J., Lafleur T., Plasma Sources Science & Technology . 2014,第6期

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4. Capacitively Coupled Radio Frequency Discharge Plasmas In Hydrogen: Particle Modeling and Negative Ion Kinetics [C] . P. Diomede, S. Longo, M. Capitelli International Symposium on Rarefied Gas Dynamics . 2005

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5. Control of Charged Particle Dynamics and Electron Power Absorption Dynamics Utilizing Voltage Waveform Tailoring in Capacitively Driven Radio-Frequency Plasmas [D] . Brandt, Steven. 2020

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6. Voltage distribution over capacitively coupled plasma electrode for atmospheric-pressure plasma generation [O] . Mitsutoshi Shuto, Fukumi Tomino, Hiromasa Ohmi, 2013

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7. Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: : excitation dynamics and ion flux asymmetry [O] . Bruneau Bastien, Diomede P, Economou DJ, 2016

机译：通过定制的电压波形维持电容耦合的氢等离子体：激发动力学和离子通量不对称

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