机译:水平集实现的各向异性蚀刻仿真:在复杂的MEMS微加工中的应用
机译:Level Set方法的实施和评估:朝着微工程应用的湿法腐蚀的高效准确的方向发展
机译:用于纳米技术中器件制造的各向异性湿法刻蚀工艺的水平集模拟
机译:石英各向异性湿法刻蚀的自极限状态曲线和能级集模拟的研究
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:硅各向异性湿蚀刻的能级集方法
机译:Level Set方法的实施和评估:朝着微工程应用的湿法腐蚀的有效和准确的方向发展
机译:5级多晶硅表面微机械技术:应用于复杂机械系统