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机译:驻波型超声致动器的低速驱动方法
Mamiko ITO; Akihiro NAGANAWA;
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机译:能够低速驱动振动型驱动装置的控制装置,使用该控制装置的致动装置,能够低速驱动振动型驱动装置的控制方法,以及存储程序的存储介质,该程序包括能够实现该控制方法的程序代码
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