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Design of pressure-sensing diaphragm for MEMS capacitance diaphragm gauge considering size effect

机译：考虑尺寸效应的MEMS电容隔膜表的压力传感隔膜设计

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Gang Li; Detian Li; Yongjun Cheng; Wenjun Sun; Xiaodong Han; Chengxiang Wang;
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年度 2018
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