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【2h】

Reaction control of metal-assisted chemical etching for silicon-based zone plate nanostructures

机译：硅基板纳米结构金属辅助化学蚀刻的反应控制

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Rabia Akan; Karolis Parfeniukas; Carmen Vogt; Muhammet S. Toprak; Ulrich Vogt;
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年度 2018
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1. Reaction control of metal-assisted chemical etching for silicon-based zone plate nanostructures [J] . Akan Rabia, Parfeniukas Karolis, Vogt Carmen, RSC Advances . 2018,第23期

机译：硅基板纳米结构金属辅助化学蚀刻的反应控制
2. Reaction control of metal-assisted chemical etching for silicon-based zone plate nanostructures [J] . Rabia Akan, Karolis Parfeniukas, Carmen Vogt, RSC Advances . 2018,第23期

机译：硅基波带片纳米结构的金属辅助化学刻蚀的反应控制
3. Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching [J] . Balderas-Valadez R. F., Agarwal V., Pacholski C. RSC Advances . 2016,第26期

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4. The effect of reaction time on optical trapping nanostructure formation on the multi-crystalline silicon by metal-assisted chemical etching [C] . Yuren Xiang, Chunlan Zhou, Wenjing Wang International Conference on Advanced Materials and Engineering Materials . 2016

机译：通过金属辅助化学蚀刻对多晶硅型多晶硅捕获纳米结构形成的反应时间
5. Semiconductor Nanofabrication via Metal-Assisted Chemical Etching: Ternary III-V Alloys and Alternative Catalysts [D] . Wilhelm, Thomas S. 2019

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6. Curved Structure of Si by Improving Etching Direction Controllability in Magnetically Guided Metal-Assisted Chemical Etching [O] . Tae Kyoung Kim, Jee-Hwan Bae, Juyoung Kim, 2020

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7. Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching [O] . Balderas-Valadez, R., Agarwal, V., Pacholski, C. 2016

机译：使用金属辅助化学蚀刻制造多孔硅基光学传感器

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