机译:低能量离子轰击下乙酰丙酮铝的反应溅射沉积的薄膜
机译:反应溅射法制备的本征低能轰击钛酸铬薄膜
机译:离子轰击在射频磁控反应溅射和ECR等离子体激活CVD方法沉积CN {sub} x和CN {sub} xH {sub} y薄膜形成中的作用
机译:轰击Cu靶的Ar +能量和低能辅助轰击对离子束溅射Cu-W薄膜结构的影响
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:金属纳米复合材料上氮化铝薄膜的低温反应溅射
机译:低能量离子对气流溅射工艺中Fe膜生长的影响。