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Tests of monolithic active pixel sensors at national synchrotron light source

机译:国家同步光源在整体活性像素传感器的测试

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摘要

The paper discusses basic characterization of Monolithic Active Pixel Sensors (MAPS) carried out at the X12A beam-line at National Synchrotron Light Source (NSLS), Upton, NY, USA. The tested device was a MIMOSA V (MV) chip, back-thinned down to the epitaxial layer. This 1M pixels device features a pixel size of 17X17µm^2 and was designed in a 0,6µm CMOS process. The X-ray beam energies used range from 5 to 12 keV. Examples of direct X-ray imaging capabilities are presented.
机译:本文讨论了在国家同步光源(NSLS),UPTON,NY,USA的X12A光束线路上进行的单片有源像素传感器(地图)的基本表征。测试装置是MIMOSA V(MV)芯片,背部减薄到外延层。该1M像素器件具有17×17μm^ 2的像素尺寸,并设计成0,6μmCMOS工艺。 X射线光束能量在5到12 kev的范围内。提出了直接X射线成像能力的示例。

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