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【2h】

Stability Study of an Electrothermally-Actuated MEMS Mirror with Al/SiO2 Bimorphs

机译：Al / SiO2双芯片电热致动MEMS镜的稳定性研究

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Peng Wang; YaBing Liu; Donglin Wang; Huan Liu; Weiguo Liu; HuiKai Xie;
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年度 2019
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