Особенности структурно-фазового состояния композиционных нананоструктурных покрытий на основе ZR-TI-SI-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения

摘要

С помощью вакуумно-дугового осаждения в ВЧ разряде были получены сверхтвердые наноструктурные комбинированные покрытия с твердостью Hv ≥ 40 GPa. Проведен анализ влияния высокотемпературного отжига в вакууме 1180 °С и воздушной среде 800 °С на фазовый состав, структуру и напряженное состояние ионно-плазменных покрытий Zr-Ti-Si-N. В работе рассмотрено два режима осаждения покрытий