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Batch-capable fabrication approach for a highly efficient miniaturized magnetic valve

机译：具有批处理能力的高效微型电磁阀制造方法

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作者
Dittrich Lars; Kallenbach Matthias; Bonitz Björn; Mache Thomas; Hoffmann Martin;
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年度 2011
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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