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【2h】

Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров

机译：用于具有亚微米尺寸元件的集成电路的硅上金属硅化物薄层的形成和诊断

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