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机译:氢注入锗层的低温剥落工艺
Ferain Isabelle; Byun Ki Yeol; Colinge Cindy; Brightup S.; Goorsky M. S.;
机译:低温直接晶片键合和层剥落法制备的锗/硅p-n结的特性
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机译:低工艺温度下库珀种子层的等离子体增强原子层沉积。
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机译:低温退火可减少注入氢的松弛SiGe层中的缺陷
机译:低温退火可减少氢注入松弛的SiXGe1-X层中的缺陷
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