The regularities of multibeam acoustic waves interference in MEMS cavity-type structures without shear stress. Analysis by the envelope method

摘要

In this paper the amplitude-phase spectra envelope method of multi-beam acoustic wavesFabry-Perot interference in MEMS cavity-type structures without shear stress at normal andoblique beam passing limits divisions is developed. It is found that the spectra analysis by the envelope method significantly broadens the application of an appropriate approach for nondestructive testing of thin film structure parameters. In addition, on the basis of the envelope function regularities the angular conditions of Pseudo effect manifestation for thebinary interface in the spectra are grounded.Розроблено метод обвідних амплітудно-фазових спектрів багатопроменевої інтерференції Фабрі-Перо акустичних хвиль для МЕМС-структур резонаторного типубез зсувних напруг при нормальному і похилому проходженні променем меж поділів.Встановлено, що аналіз спектрів методом обвідних істотно розширює межі застосуваннявідповідного підходу для організації неруйнівного контролю параметрів плівковихструктур. Крім цього, на основі закономірностей обвідних обґрунтовано кутові умови прояву в спектрах псевдобрюстерівського ефекту для бінарної межі поділу.