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Thick-film piezoelectric bimorph actuators for MEMS devices

机译:用于MEMS器件的厚膜压电双压电晶片执行器

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摘要

Active ow control can be used to improve the aerodynamic e ciency of passengeraircraft, road tra c and wind turbines amongst other applications. This workdescribes the fabrication of an ultra-compact microvalve that has been designed aspart of an active aerodynamic ow control system that generates airjets of a scaleand velocity that have been shown to have desirable e ects on the macroscopic airow. The design of the microvalve is based on criteria speci ed by the requirementsof active ow control and the piezoelectric bimorph actuator which opens and closesthe valve outlet. Cont/d.
机译:主动流控制可用于提高客机,道路交通和风力涡轮机等其他应用的空气动力效率。这项工作描述了超紧凑型微型阀门的制造,该微型阀门已作为主动空气动力流量控制系统的一部分进行设计,该系统产生了具有一定比例和速度的喷气发动机,这些喷气发动机已被证明对宏观气流具有理想的作用。微型阀的设计基于主动控制和打开和关闭阀出口的压电双压电晶片执行器的要求所指定的标准。继续/ d。

著录项

  • 作者

    Owens Sam;

  • 作者单位
  • 年度 2011
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 {"code":"en","name":"English","id":9}
  • 中图分类

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