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【2h】

A Micro-Coordinate Measurement Machine (CMM) for Large-Scale Dimensional Measurement of Micro-Slits

机译：用于微缝尺寸大尺寸测量的微坐标测量机（Cmm）

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作者
So Ito; Hirotaka Kikuchi; Yuanliu Chen; Yuki Shimizu; Wei Gao; Kazuhiko Takahashi; Toshihiko Kanayama; Kunmei Arakawa; Atsushi Hayashi;
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年度 2016
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1. A Micro-Coordinate Measurement Machine (CMM) for Large-Scale Dimensional Measurement of Micro-Slits [J] . So Ito, Hirotaka Kikuchi, Yuanliu Chen, Applied Sciences . 2016,第5期

机译：用于大尺寸微缝隙测量的微坐标测量机（CMM）
2. A Micro-Coordinate Measurement Machine (CMM) for Large-Scale Dimensional Measurement of Micro-Slits [J] . So Ito, Hirotaka Kikuchi, Yuanliu Chen, Applied Sciences . 2016,第5期

机译：用于大尺寸微缝隙测量的微坐标测量机（CMM）
3. 3 Dimensional Co-ordinate Measurement Machine (CMM) Metrology of Direct Aspheric Mirror [J] . Nagesh G., Visweswara Rao, Naveen K. Mishra Journal of the Instrument Society of India: Proceedings of the national symposium on instrumentation . 2015,第1期

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4. The Challenge of Estimating Measurement Uncertainty for the Dimensional Measurement of Micro Parts on CMMs [C] . J. Fleischer, I. Behrens, VDI International Symposium on Measurement and Quality Control in Production . 2004

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