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机译:基于滤波器的平行板微静电执行器控制
Salah Mohammed H.; Bayrak Alper; Tatlıcıoğlu Enver;
机译:带静电平行板驱动的单轴微镜的线性化控制
机译:边缘电容的新公式及其在平行板静电微执行器控制中的应用
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