Research on High Speed Jetting Dispenser with Displacement Amplifier Based on Flexible Hinge

摘要

流体点胶技术是微电子封装行业的关键技术之一，它是一种以受控的方式对胶体进行精确分配的技术。开关阀式喷射点胶技术，相比其它喷射点胶技术，有着胶体适用范围广、工作效率高、喷射胶点一致性好的优点，是流体点胶技术中最重要的发展趋势。针对国内在开关阀式喷射点胶技术中频率较低、胶点体积过大等缺点，本文的研究目的是设计开发出一套以压电陶瓷叠堆作为驱动源的具有自主知识产权的开关阀式喷射点胶头，实现对胶体的高频微量喷射。主要的研究工作如下： （1）提出了开关阀式喷射点胶头中核心部分——位移放大机构的设计方案，通过有限元仿真确定了该放大机构的特征尺寸参数，以此参数加工出位移放大机构样机并进行测试，在压电陶瓷通...