Nanoimprint lithography and its application to the fabrication of active SERS substrate

摘要

表面等离激元（surfaceplasmons）是一种局域在金属和电介质的交界面处，同时沿着界面向前传播的电磁场模式，其独特的性质在集成光子学、生物传感、精密测量等领域有着广泛的应用前景。近年来随着微纳加工技术的进步，表面等离激元也成为了非常有生命力的研究领域。基于纳米间隔的表面增强拉曼光谱（SERS）活性基底的构建是其中最活跃的分支之一。本论文将纳米压印技术与电沉积技术相结合，以期建立高活性、高均匀性、高重复性SERS基底的制备方法。论文的主要研究内容和成果包括： 1.建立了金属纳米点阵和金属光栅纳米压印成套工艺。探索温度、压力、胶厚等参数对纳米压印结果的影响，在纳米压印胶表面制备出孔径为2...