New Method for Analyzing Raman Spectra of Hydrogen-free Diamond-like Carbon Films

摘要

dlC薄膜的拉曼光谱表征主要依靠d峰和g峰的强度比值(Id/Ig)来定性判断SP3含量,但当SP3所占百分比高于20%时,Id/Ig值对SP3含量的变化不敏感,判断的误差很大。采用直流磁控溅射和多弧离子镀制备了一系列无氢dlC薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱和维氏硬度。通过数据分析,发现薄膜硬度和拉曼光谱中的g峰半峰宽具有很好的相关性,因而提出通过g峰半峰宽来定量判断dlC薄膜中SP3含量的拉曼光谱表征新方法。