Study on Transmission Spectrum Method for Determination of the Optical Parameters of Polymer Thin Film

摘要

本文通过对薄膜光学参数测试方法的研究现状进行的大量调研，确定透射光谱法是方便、快捷、精确地获取薄膜光学参数的较优方法，只需一次测量，即可通过计算机数值计算，同时求解得到薄膜光学常数和厚度。在对透射光谱法进行深入探讨和数值实验的基础上，提出基于改进模拟退火算法的曲线拟合角度的透射光谱法，并将该法应用于聚合物薄膜光学参数的检测求解上，取得一定的成就。 论文前期工作主要采用透射谱拟合法，将薄膜光学理论与数学优化理论相结合，通过组建数学非线性回归模型，构建目标优化函数，再通过优化计算得到所求参数。具体采用模拟退火算法，并在大量数值实验的基础上，设计了合理的冷却进度表并对算法进行了合理改进，从而适应由...