Study and Practice on RF Power of Annular Waveguide CO2 Laser with All-metallic Material

摘要

射频激励CO2激光器，由于它所具有的一系列突出优点，如体积小、功率大、光束质量好、可靠性高、寿命长等，在工业加工、医疗外科和激光雷达等多个行业得到了广泛的应用。射频电源作为激光的功率来源，是激光器的一个重要组成部分。文章通过对射频电源的高频功率放大和阻抗匹配这两项关键技术的研究，结合全金属环波导CO2激光器对射频电源的要求，设计、制作了一个射频激光电源，并对各项关键参数进行了测量。论文的主要内容包括：1.阐述射频激励全金属环波导CO2激光器的结构和特征，分析一般射频CO2激光电源的结构和组成。2.详细的论述了射频电源的两项关键技术——高频功率放大和阻抗匹配。从原理和结构上指出高频功放与低频功放...