Impact of Standard Semiconductor Fabrication Processes on Polycrystalline Nb Thin Film Surfaces.

著录项

• 作者

  Brown, A. D.; Barrentine, E. M.; Moseley, S. H.; Noroozian, O.; Stevenson, T.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-5
• 总页数 5
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Semiconductors (materials); Fabrication; Superconductivity; Polycrystals; Millimeter waves; Thin films; X ray diffraction; Surface layers; Niobium; Nitrides; Photolithography; Microwaves; Inductance; Transmission lines;

  机译：半导体（材料）;制造;超导;多晶;毫米波;薄膜; X射线衍射;表面层;铌;氮化物;光刻;微波;电感;传输线;
• 入库时间 2022-08-29 10:46:48