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Radiation effects in MEMS devices

机译：mEms器件中的辐射效应

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作者
Johnston, A.;
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年度 2002
页码 1-6
总页数 6
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; RADIATION EFFECTS; NEPP;

机译：微电子机械系统;辐射效应; NEpp;

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