MESURES DES CONSTANTES OPTIQUES PAR LA MÉTHODE ELLIPSOMÉTRIQUE

摘要

Depuis les travaux de Drude, plusieurs méthodes ont été utilisées pour la mesure des constantes optiques par ellipsométrie en réflexion. On décrit ici une de ces méthodes et l'appareillage nécessaire pour son application. Cet appareillage comportant sources, monochromateur, systèmes de polarisation, goniomètre et porte échantillons, monté sur un banc optique réglable, a été réalisé dans nos laboratoires. Les systèmes de détection et de mesure sont également décrits. En conclusion on discute le degré de précision maximum des mesures obtenues avec ce nouveau banc optique.