Vapor Phase Growth Technique and System for Several 3-5 Compound Semiconductors Quarterly Technical Report

著录项

• 作者

  Clough, R.; Dreeben, A. B.; Enstrom, R. E.; Tietjen, J. J.;

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• 作者单位

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• 年度 1969
• 页码 p.1-14
• 总页数 14
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Group 3a compounds ; Group 5a compounds ; Growth ; Semiconductors (materials) ; Vapor phases ; Additives ; Alloys ; Diffusion ; Flow velocity ; High temperature;

  机译：3a族化合物; 5a族化合物;生长;半导体（材料）;气相;添加剂;合金;扩散;流速;高温;