Crystal structure ; Deposition ; Silicon films ; Temperature effects ; Polycrystals ; Semiconducting films ; Silanes ; Single crystals ; Substrates;
机译:用氢稀释的硅烷和四氟化硅对微晶硅薄膜进行量身定制的电压波形沉积:薄膜的光电性能
机译:氢稀释的硅烷放电中双层形成对微晶硅膜沉积的影响
机译:沉积和结晶动力学对通过硅烷和乙硅烷的低压化学气相沉积法沉积的硅膜性能的影响
机译:双层形成对氢稀硅烷排放中微晶硅膜沉积的影响
机译:一种深亚微米单栅极CMOS技术,使用通过快速热化学气相沉积形成的原位掺杂硼的多晶硅锗锗栅极
机译:单晶硅直接和化学辅助皮秒激光微刻蚀的性能评估与比较
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